平面度の歪を見るのにオプチカルフラットを使います。
平面ゲージである。ガラス製で、厚さと直径比が1/6以上が決められているそうです。
被測定面をこのゲージ面と接触あるいは非接触の状態でセットします、クリタテクノの場合製品にプチカルフラットを乗せて観察します。両面からの反射光の間で生じる干渉縞の本数や曲がりをもとに、被測定面の形状精度を読み取ります。
検査測定になりますと、干渉縞計を使用します。
干渉縞計では、どの用にダレ・歪が出ているのかが縞で判断できます。
絞りを換えて縞の本数を調整出来ますので、オプチカルフラットよりも正確・明確に測定できます。
ゲージ用語：オプチカルフラット
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